真空爐小漏和微漏比較難查，常用的方法是利用在高真空狀態下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。

用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩定了，也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，再噴射。盡量是反復幾次，確認漏點。